Heat-resistance Evaluation of Si Doped DLC Thin Films
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Si掺杂DLC薄膜的耐热性评价
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Naoki Osawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Noriaki Ikenaga ;Ryo Nakazawa ;Atunori Akizawa ;Kazunari Ishii ;Naoki Osawa
