A versatile ion implanter for material modification
A versatile ion implanter for material modification
复制标题
用于材料改性的多功能离子注入机
DOI:
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发表时间:
1989
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
H. Ryssel
中科院分区:
文献类型:
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作者:
R. Öchsner;A. Kluge;H. Ryssel