Nonpolar 4H-AlN Grown on 4H-SiC (1-100) with Reduced Stacking Fault Density Realized by Persistent Layer-by-layer Growt

Nonpolar 4H-AlN Grown on 4H-SiC (1-100) with Reduced Stacking Fault Density Realized by Persistent Layer-by-layer Growt
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在 4H-SiC (1-100) 上生长非极性 4H-AlN,通过持续逐层生长实现降低堆垛层错密度

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
Applied Physics Letters 93
影响因子:
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通讯作者:
J. Suda
J. Suda
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
M. Horita;T. Kimoto;J. Suda

文献摘要

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