フィルムボンディング技術を用いた3次元磁気センサーの作製技術
フィルムボンディング技術を用いた3次元磁気センサーの作製技術
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使用薄膜接合技术的3D磁传感器制造技术
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
三栖貴行
中科院分区：
文献类型：
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作者：
黄啓新;野口大介;三栖貴行
