半導体素子用エピタキシャル基板,半導体素子用エピタキシャル基板の作製方法,およびALN単結晶自立基板
半導体素子用エピタキシャル基板,半導体素子用エピタキシャル基板の作製方法,およびALN単結晶自立基板
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半导体器件用外延衬底、半导体器件用外延衬底的制造方法以及ALN单晶自支撑衬底
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发表时间：
2012
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