レーザーアブレーション–ICP-MS による電子セラミックスの分析
レーザーアブレーション–ICP-MS による電子セラミックスの分析
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激光烧蚀——ICP-MS 分析电子陶瓷
DOI：
10.5702/massspec.51.220
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
啓一 福田
中科院分区：
文献类型：
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作者：
昌弘 大石;啓一 福田
电子陶瓷器件的分析需要对主要和次要元素进行定量分析，具有高灵敏度和10 µm的空间分辨率。建立了一种新的激光烧蚀电感耦合等离子体质谱半定量方法，并制备了铁氧体和陶瓷样品进行了验证。通过LA-ICP-MS获得的半定量值与通过X射线荧光分析（XRF）获得的参考值具有良好的一致性。
Analysis of electro-ceramics devices requires quantitative analysis of major and minor elements with high sensitivity and a spatial resolution of 10 µm. A new semi-quantitative method was developed using Laser Ablation ICP-MS. Ferrite and ceramic samples were prepared to verify this method. Semi-quantitative values obtained by LA-ICP-MS were in good agreement with reference values obtained by X-ray fluorescence analysis (XRF).