Ion bombardment effects on internal stress of sputtered thin film
Ion bombardment effects on internal stress of sputtered thin film
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离子轰击对溅射薄膜内应力的影响
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他2名
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Matsumura;他2名
