Synthesis of BN Films by rf-biased Electron Beam Excited Plasma

Synthesis of BN Films by rf-biased Electron Beam Excited Plasma
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射频偏压电子束激发等离子体合成 BN 薄膜

DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
15^<th> Symposium on Applications of Plasma Processes
影响因子：
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通讯作者：
M.Kuramoto
M.Kuramoto
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
P.Abraha;K.Kumekawa;Y.Yoshikawa;Y.Kato;M.Kuramoto

文献摘要

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