Infrared and Raman spectroscopic investigation of thin films of AlN and SiC on Si substrates
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DOI：
10.1016/s0924-2031(98)00076-9
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发表时间：
1999-04
影响因子：
2.5
通讯作者：
H. Hobert;H. Dunken;J. Meinschien;H. Stafast
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Hobert;H. Dunken;J. Meinschien;H. Stafast
