Monophase gamma-In2Se3 thin film deposited by magnetron radio-frequency sputtering

Monophase gamma-In2Se3 thin film deposited by magnetron radio-frequency sputtering
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磁控射频溅射沉积单相γ-In2Se3薄膜

DOI：
--
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发表时间：
2014
期刊：
Vacuum
影响因子：
4
通讯作者：
Yu, Zhou
Yu, Zhou
中科院分区：
材料科学2区
文献类型：
--
作者：
Liu, Lian;Yan, Chuanpeng;Zhao, Yong;Yu, Zhou

文献摘要

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