Structural alterations in SiC as a result of Cr+ and N+ implantation
Structural alterations in SiC as a result of Cr+ and N+ implantation
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Cr 和 N 注入导致 SiC 的结构变化
DOI：
10.1016/0167-5087(83)90818-9
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发表时间：
1983
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
B. Appleton
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J. Williams;C. McHargue;B. Appleton
