Masanori Shinohara, Yasuo Kimura, Daisei Shoji, Michio Niwano: ""Infrared study of carbon incorporation during chemical vapor deposition of SiC using methylsilanes""Appl. Sur. Sci.. Vol.175-176. 591-596 (2001)
Masanori Shinohara, Yasuo Kimura, Daisei Shoji, Michio Niwano: ""Infrared study of carbon incorporation during chemical vapor deposition of SiC using methylsilanes""Appl. Sur. Sci.. Vol.175-176. 591-596 (2001)
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Masanori Shinohara、Yasuo Kimura、Daisei Shoji、Michio Niwano：“使用甲基硅烷化学气相沉积 SiC 过程中碳掺入的红外研究”Appl。
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