ナノシリコン弾道電子源を用いたIV族半導体薄膜の堆積
ナノシリコン弾道電子源を用いたIV族半導体薄膜の堆積
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使用纳米硅弹道电子源沉积 IV 族半导体薄膜
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
越田信義
中科院分区：
文献类型：
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作者：
八木麻実子;須田隆太郎;小島明;R. Mentek;白樫淳一;越田信義
