Texture evolution of transition-metal nitride thin films by ion beam assisted deposition
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DOI：
10.1016/j.tsf.2003.09.063
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发表时间：
2004-01
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
C. H. Ma;Jia-Hong Huang;Haydn Chen
中科院分区：
文献类型：
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作者：
C. H. Ma;Jia-Hong Huang;Haydn Chen
