誘導結合プラズマ法によるDLC薄膜の生成および光学特性
誘導結合プラズマ法によるDLC薄膜の生成および光学特性
复制标题
电感耦合等离子体法制备DLC薄膜及其光学性能
DOI：
--
复制
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
鐘木薫
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
磐瀬暢;胡桃聡;鐘木薫
