H.Miura: "Reliability of Electro static Probe Measurements in RF Discharge Plasmas." Proc.7th Symp.on Plasma Processings(Tokyo). 133-136 (1990)
H.Miura: "Reliability of Electro static Probe Measurements in RF Discharge Plasmas." Proc.7th Symp.on Plasma Processings(Tokyo). 133-136 (1990)
复制标题
H.Miura:“射频放电等离子体中静电探针测量的可靠性。”
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: