Influence of Elements addition on Friction and Wear properties of SiC Film Coated by Helicon Sputtering
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复制标题
元素添加对螺旋溅射SiC薄膜摩擦磨损性能的影响
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Sugeta
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S.;Iwasaki;H.;Akebono;M.;Kato;A.;Sugeta
