光ファイバプローブを用いた微小径穴形状精度測定システムの開発-測定の繰り返し性評価-
光ファイバプローブを用いた微小径穴形状精度測定システムの開発-測定の繰り返し性評価-
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开发使用光纤探针的微小直径孔形状精度测量系统 -测量重复性的评估-
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
近藤英二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
村上洋;甲木昭雄;鬼鞍宏猷;佐島隆 生;近藤英二
