Photofabrication of Periodic submicron structures using standing evanescent light for Nano-Stereolithography

Photofabrication of Periodic submicron structures using standing evanescent light for Nano-Stereolithography
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使用常驻倏逝光进行纳米立体光刻周期性亚微米结构的光加工

DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
Proceedings of the 20th American Society for Precision Engineering Annual Meeting Norfolk
影响因子：
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通讯作者：
K.Takamasu
K.Takamasu
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
S.Takahashi;Y.Inazuki;Y.Kajihara;K.Takamasu

文献摘要

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