武山, 佐藤, 糸井, 野矢: "Cu配線への極薄ナノクリスタルVNバリヤの適用"第49回応用物理学関係連合講演会講演論文集. (発表予定). (2002)

武山, 佐藤, 糸井, 野矢: "Cu配線への極薄ナノクリスタルVNバリヤの適用"第49回応用物理学関係連合講演会講演論文集. (発表予定). (2002)
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Takeyama、Sato、Itoi、Noya:“超薄纳米晶体 VN 阻挡层在铜布线中的应用”第 49 届应用物理协会会议论文集(待提交)(2002 年)。

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