ナノパルスプラズマの状態評価及びDLC膜合成への応用
ナノパルスプラズマの状態評価及びDLC膜合成への応用
复制标题
纳脉冲等离子体条件评价及其在DLC薄膜合成中的应用
DOI：
--
复制
发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
大竹尚登
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
齊藤隆雄;近藤好正;寺澤達矢;済藤雅典;大竹尚登
