(解説)高密度光集積回路へ向けた金属光配線技術
(解説)高密度光集積回路へ向けた金属光配線技術
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(解说)高密度光集成电路的金属光互连技术
DOI：
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发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
片桐祥雅
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Seok-Hwan Jeong;Tetsuya Mizumoto;Mitsuru Takenaka;Yoshiaki Nakano;Katsumi Nakatsuhara;片桐祥雅
