Study on removal mechanism of sapphire in plasma assisted polishing
Study on removal mechanism of sapphire in plasma assisted polishing
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等离子辅助抛光蓝宝石去除机理研究
DOI：
10.4028/www.scientific.net/amr.1136.317
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Yamamura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
C. Kageyama;K. Monna;H. Deng;K. Endo;K. Yamamura
