Terahertz MEMS Bolometers With Enhanced Thermal Sensitivity By Phononic Crystal Structures
Terahertz MEMS Bolometers With Enhanced Thermal Sensitivity By Phononic Crystal Structures
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通过声子晶体结构增强热灵敏度的太赫兹 MEMS 辐射热测量计
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
張 亜
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Sometani;H. Hirai;M. Okamoto;T. Hatakeyama;S. Harada;張 亜
