High-density plasma generation using microwave propagation along plasma-sheath interface and its application to DLC coating
High-density plasma generation using microwave propagation along plasma-sheath interface and its application to DLC coating
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利用微波沿着等离子体-鞘层界面传播产生高密度等离子体及其在 DLC 涂层中的应用
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H.Kousaka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Shahien;M.Yamada;T.Yasui;M.Fukumoto;H.Kousaka
