電析膜の内部応力測定と電鋳法の形状転写性能評価
電析膜の内部応力測定と電鋳法の形状転写性能評価
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电铸法沉积膜内应力测量及形状转移性能评价
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
三村秀和
中科院分区：
文献类型：
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作者：
久米健大;江川悟;山口豪太;三村秀和
