A Fringe Pattern Analysis Technique for Photomask Line-Edge-Roughness Characterization

A Fringe Pattern Analysis Technique for Photomask Line-Edge-Roughness Characterization
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光掩模线边缘粗糙度表征的条纹图案分析技术

DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
American Society of Mechanical Engineers: Manufacturing Science and Engineering Conference
影响因子：
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通讯作者：
Zhikun Wang, Kuan Lu
Zhikun Wang, Kuan Lu
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Zhikun Wang, Kuan Lu

文献摘要

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