Correlation between a-C:H film properties and Ar/CH4 dielectric barrier discharge
Correlation between a-C:H film properties and Ar/CH4 dielectric barrier discharge
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a-C:H薄膜性能与Ar/CH4介质阻挡放电的相关性
DOI:
10.1016/j.tsf.2005.08.145
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发表时间:
2006
期刊:
影响因子:
2.1
通讯作者:
O. Takai
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
M. Bratescu;Y. Yoshizaki;Y. Suda;Y. Sakai;H. Sugawara;O. Takai
DOI:
--
发表时间:
2004
期刊:
Appl.Phys.A 79
影响因子:
--
作者:
K.Nagao;et al.;森直樹;荒木田大嗣;森直樹;森直樹;Y.Suda;M.Itoh;K.Takaki;田澤 将太;M.A.Bratescu;M.A.Bratescu
通讯作者:
M.A.Bratescu