Correlation between a-C:H film properties and Ar/CH4 dielectric barrier discharge

Correlation between a-C:H film properties and Ar/CH4 dielectric barrier discharge
复制标题

a-C:H薄膜性能与Ar/CH4介质阻挡放电的相关性

DOI:
10.1016/j.tsf.2005.08.145
复制
发表时间:
2006
期刊:
影响因子:
2.1
通讯作者:
O. Takai
O. Takai
中科院分区:
材料科学3区
文献类型:
--
作者:
M. Bratescu;Y. Yoshizaki;Y. Suda;Y. Sakai;H. Sugawara;O. Takai

文献摘要

参考文献

被引文献

相似文献

氮气射频等离子体辅助碳激光烧蚀中激发粒子的光谱测量
DOI: --
发表时间: 2004
期刊: Appl.Phys.A 79
影响因子: --
作者:
K.Nagao;et al.;森直樹;荒木田大嗣;森直樹;森直樹;Y.Suda;M.Itoh;K.Takaki;田澤 将太;M.A.Bratescu;M.A.Bratescu
通讯作者: M.A.Bratescu