Fabrication of varifocal scanner integrated with piezoresistive focal length and angle sensors
Fabrication of varifocal scanner integrated with piezoresistive focal length and angle sensors
复制标题
集成压阻式焦距和角度传感器的变焦扫描仪的制造
DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
Kenta Nakazawa
中科院分区:
文献类型:
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作者:
波多野 睦子;岩崎 孝之;水元惟暁,土畑重人;Kenta Nakazawa
DOI:
10.1109/omn.2016.7565836
发表时间:
2016
期刊:
2016 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN)
影响因子:
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作者:
Tianbo Liu;D. Dickensheets
通讯作者:
D. Dickensheets