M.Hirayama: "Low-Cost,High-Productivity ULSI Manufacturing in 300mm Wafer Era" Silicon,Software,and Smart Machines;Manufacturing Integration in the Semiconductor Industry. (1998)
M.Hirayama: "Low-Cost,High-Productivity ULSI Manufacturing in 300mm Wafer Era" Silicon,Software,and Smart Machines;Manufacturing Integration in the Semiconductor Industry. (1998)
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M.Hirayama：“300毫米晶圆时代的低成本、高生产率超大规模集成电路制造”硅、软件和智能机器；半导体行业的制造集成。
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