散乱光を用いた極細センサプローブによる小径深穴の計測
散乱光を用いた極細センサプローブによる小径深穴の計測
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利用散射光的超细传感器探头测量小直径深孔
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
西堀研人，前迫大器，西堀賢司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
西堀研人，前迫大器，西堀賢司
