Shozo INOUE, Hitoshi UCHIDA, Yoichi TOKUNAGA and Keiji KOTERAZAWA: ""Structure and Composition of AlN Films Prepared by rf Reactive Sputtering"" Journal of The Japan Institute of Metals.
Shozo INOUE, Hitoshi UCHIDA, Yoichi TOKUNAGA and Keiji KOTERAZAWA: ""Structure and Composition of AlN Films Prepared by rf Reactive Sputtering"" Journal of The Japan Institute of Metals.
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Shozo INOUE、Hitoshi UCHIDA、Yoichi TOKUNAGA 和 Keiji KOTERAZAWA：“通过射频反应溅射制备的 AlN 薄膜的结构和成分”，日本金属学会期刊。
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