パルスマグネトロンスパッタ法で発生したイオンと中性種の組成の時間変化とエネルギー分析
パルスマグネトロンスパッタ法で発生したイオンと中性種の組成の時間変化とエネルギー分析
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脉冲磁控溅射产生的离子和中性物质组成的时间变化和能量分析
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
美齊津文典
中科院分区：
文献类型：
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作者：
田村哲郎;松崎浩美;小安喜一郎;山本宏晃;石原太樹;戸名正英;美齊津文典
