Ultra-precise circular motion control over a one-millimeter stroke by means of flexure guide and electromagnetic linear motor
Ultra-precise circular motion control over a one-millimeter stroke by means of flexure guide and electromagnetic linear motor
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通过柔性导轨和电磁直线电机实现一毫米行程的超精密圆周运动控制
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松田智明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
深田茂生;西村建太朗;松田智明
