反応性交互スパッタ法によるMo薄膜上へのCuInS_2薄膜の作製と評価

反応性交互スパッタ法によるMo薄膜上へのCuInS_2薄膜の作製と評価
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Mo薄膜上反应性交替溅射法制备CuInS_2薄膜及评价

DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
坪井望
坪井望
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
須田朗弘;川田孝平;小野友也;野本隆宏;坪井望

文献摘要

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