Yukio Watanabe: "REACTION CONTROL FOR SUPPRESSING PARTICLE GROWTH IN RF SILANEPLASMAS AND DEPOSITION OF AMORPHOUS SILICON FILMS" Proc.Int.Seminar on Reactive Plasmas. 475-480 (1991)
Yukio Watanabe: "REACTION CONTROL FOR SUPPRESSING PARTICLE GROWTH IN RF SILANEPLASMAS AND DEPOSITION OF AMORPHOUS SILICON FILMS" Proc.Int.Seminar on Reactive Plasmas. 475-480 (1991)
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Yukio Watanabe：“抑制 RF 硅烷等离子体中颗粒生长和非晶硅薄膜沉积的反应控制”Proc.Int.Seminar on Reactive Plasmas。
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