Carpet-Bombing-like Concaves on SiC MOS Capacitors Formed by Dielectric Breakdown
Carpet-Bombing-like Concaves on SiC MOS Capacitors Formed by Dielectric Breakdown
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SiC MOS 电容器上因介质击穿而形成的地毯式凹坑
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Masaaki Niwa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Soshi Sato;Yuki Hiroi;Kikuo Yamabe;Makoto Kitabatake;Tetsuo Endoh;and Masaaki Niwa
