木下 治久: "Investigation of O_2 Supermagnetron Plasma Characteristics VS Rf Phase Difference for Resist Etching" Proceedings of the 9th Symposium on Plasma Processing. 9. 273-276 (1992)
木下 治久: "Investigation of O_2 Supermagnetron Plasma Characteristics VS Rf Phase Difference for Resist Etching" Proceedings of the 9th Symposium on Plasma Processing. 9. 273-276 (1992)
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Haruhisa Kinoshita：“抗蚀剂蚀刻的 O_2 超磁控管等离子体特性与 Rf 相位差的研究”第九届等离子体处理研讨会论文集 9. 273-276 (1992)。
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