法線ベクトル検出型超精密形状測定法による凸球面ミラーの形状測定
法線ベクトル検出型超精密形状測定法による凸球面ミラーの形状測定
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法向量检测超精密形状测量法凸球面镜形状测量
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
沖田賢哉
中科院分区：
文献类型：
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作者：
佐藤雄介;西澤精一;寺前紀夫;祖田亮次・石川登 横山智編;沖田賢哉
