.超高品質因子を持つ単結晶ダイヤモンドMEMS振動子.
.超高品質因子を持つ単結晶ダイヤモンドMEMS振動子.
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.具有超高品质因数的单晶金刚石MEMS谐振器。
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yasuo Koide
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Meiyong Liao;Tukuyuki Teraji;Yasuo Koide
