The growth of a multi-principal element (CoCrFeMnNi) oxynitride film by direct current magnetron sputtering using air as reactive gas
The growth of a multi-principal element (CoCrFeMnNi) oxynitride film by direct current magnetron sputtering using air as reactive gas
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以空气为反应气体的直流磁控溅射生长多主元（CoCrFeMnNi）氮氧化物薄膜
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
D. Depla
中科院分区：
文献类型：
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作者：
G. Radnóczi;R. Dedoncker;G. Radnóczi;Z. Czigány;A. Sulyok;V. Kovács;D. Depla
影响因子：
16.6
作者：
Li, Qing-Jie;Sheng, Howard;Ma, Evan
通讯作者：
Ma, Evan