圧電アクチュエータ 精密位置決めへの応用(解説)
圧電アクチュエータ 精密位置決めへの応用(解説)
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压电促动器在精密定位中的应用（解说）
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
古谷克司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
F. Iguchi;Y. Endo;T. Ishida;T. Yokobori;H. Yugami;T. Otake;T. Kawada;J. Mizusaki;古谷克司
