超臨界流体を用いた金属薄膜堆積―メリットと展望―
超臨界流体を用いた金属薄膜堆積―メリットと展望―
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使用超临界流体沉积金属薄膜 - 优点和前景 -
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
近藤英一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
秋山知英;中村敏浩;酒井道;三宝 勝利，作間 啓太，松島 宏行，宮脇 哲也，植田 研二，浅野 秀文;近藤英一
