ブロックコポリマーマスクを用いた全湿式エッチングによる原子平坦性金表面のナノホール配列の作製
ブロックコポリマーマスクを用いた全湿式エッチングによる原子平坦性金表面のナノホール配列の作製
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使用嵌段共聚物掩模通过全湿法蚀刻在原子级平坦的金表面上制造纳米孔阵列
DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
坂口浩司
中科院分区:
文献类型:
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作者:
渡辺亮子;伊藤香織;彌田智一;坂口浩司