FIB/EB 複合リソグラフィーによるHSQ からの3 次元ナノ構造作製
FIB/EB 複合リソグラフィーによるHSQ からの3 次元ナノ構造作製
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使用 FIB/EB 组合光刻技术从 HSQ 制造 3D 纳米结构
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
米谷 玲皇,黒田 耕平,割澤 伸一,石原 直
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N.Sakai;T.Igaki;T.Onuma;A.A.Yamaguchi;T.Yamaguchi;and T.Honda;米谷 玲皇,黒田 耕平,割澤 伸一,石原 直
