300kV領域小型集束ガスイオンナノビーム形成装置の開発
300kV領域小型集束ガスイオンナノビーム形成装置の開発
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300kV区域紧凑型聚焦气体离子纳米束形成装置研制
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
神谷富裕
中科院分区：
文献类型：
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作者：
石井保行;大久保猛;神谷富裕
