高密度マイクロプラズマの連続生成とその真空紫外光源への応用
高密度マイクロプラズマの連続生成とその真空紫外光源への応用
复制标题
高密度微等离子体的连续产生及其在真空紫外光源中的应用
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
河野明廣
中科院分区：
文献类型：
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作者：
NAKATANI;Hiroyasu;T. Sakurai;平田孝道;K. Tachibana;河野明廣
