Kwang KIM: "LIGA Fabricated serially arranged Electorstatics Comb-Drivers for XY-stage"Book of Abstract, HARMST '99. 134-135 (1999)
Kwang KIM: "LIGA Fabricated serially arranged Electorstatics Comb-Drivers for XY-stage"Book of Abstract, HARMST '99. 134-135 (1999)
复制标题
Kwang KIM：“LIGA 为 XY 级制造串联排列的静电梳状驱动器”摘要书，HARMST 99。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
