液体フィルタ構造を利用したMEMS皮膚状触覚センサに関する研究
液体フィルタ構造を利用したMEMS皮膚状触覚センサに関する研究
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采用液体过滤结构的MEMS类肤触觉传感器研究
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
野田 堅太郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Minako Hosono;Kentaro Noda;Kiyoshi Matsumoto;Isao Shimoyama;Taiyu Okatani;野田 堅太郎
