トーラス型装置NAGDIS-Tを用いた窒素水素混合プラズマ照射による窒化チタン形成
トーラス型装置NAGDIS-Tを用いた窒素水素混合プラズマ照射による窒化チタン形成
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使用环形装置 NAGDIS-T 通过氮氢混合等离子体辐射形成氮化钛
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大野哲靖
中科院分区：
文献类型：
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作者：
東條圭吾;平岩晃汰;田中宏彦;梶田信;大野哲靖
